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load port半導體

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load port功能load port介紹load port是什麼TDK Load port
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LoadPort 晶圓載具平台
LoadPort 晶圓載具平台

https://www.superplustech.com.

LoadPort · 採用全軸步進馬達移動,實施時具有高可靠度。 · 高濃度N2 Purge(O2<100ppm)可在2分鐘以內可達到高速。 · 精準辨識晶片於FOUP儲放位置,可透過以下功能選項。

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晶圓基板Load
晶圓基板Load

https://www.otsuka-tw.com

可配合半導體工廠膜厚需求一體化。Load Port 對應晶圓厚度膜厚量測設備。可配合客戶需求進行選擇的產品量測項目(半導體Device量測・基板厚度量測・貼合晶圓量測)

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EFEM晶圓傳送設備
EFEM晶圓傳送設備

http://www.syuhe.com.tw

Load Port部分包含機構如:步進馬達door升降、氣缸Latch key、wafer mapping開閉、真空吸附FOUP door保持機構、定位機構,透過設計整合出更強大的效率。 在感測元件上 ...

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晶圓裝卸機Load Port
晶圓裝卸機Load Port

https://www.hiwin.tw

HIWIN晶圓裝卸機Load Port HLP系列可共用8吋與12吋產品載入載出,能直接對應8吋與12吋FOUP/FOSB,亦可選配8吋open cassette、12吋metal carrier的載具對接平台。 關鍵零組件 ...

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Load Port
Load Port

https://www.sc-te.com

Load Port. 標準版Load Port: Cassette or FOUP 與Auto door-FOSB 均可搬送高潔淨度、高濕度控制、高通訊兼容性和多控制項,以實現更好的產品質量,並有效控制產品Q時間 ...

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【賀! 入選科專年報20大亮點】小兵立大功:晶圓製造不中斷的 ...
【賀! 入選科專年報20大亮點】小兵立大功:晶圓製造不中斷的 ...

https://www.pmc.org.tw

「 因為OHT運載設計缺乏彈性,加上Load Port存放區儲位存量不足,在這分秒必爭的產業裡,周邊需要有輔助設備讓製程銜接更順暢。 」精機中心處長陳哲堅表示, ...

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晶圆装载口(Load Port)
晶圆装载口(Load Port)

https://www.oneweklin.com

晶圆装载口(Load Port) 适用场景:一般主要用在半导体晶圆搬运和传输等装置,如EFEM、倒片机等。(FAB使用,其余使用场所未知) 设备特点: 1、FOUP内晶圆片检测, ...

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晶圓裝卸機Load Port
晶圓裝卸機Load Port

https://www.hiwinsupport.com

HIWIN晶圓裝卸機Load Port HLP系列可共用8吋與12吋產品載入載出,能直接對應8吋與12吋FOUP/FOSB,亦可. 選配8吋open cassette、12吋metal carrier的載具對接 ...

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半導體自動化設備事業處
半導體自動化設備事業處

https://www.foxsemicon.com

本設備為一微小化模組,可被安裝於任何品牌之Load Port內,對FOUP充填氮氣,並實時監控FOUP內狀態。 二、規格: 1. 內建溫溼度、流量、壓力即時監測機能 2. 確保Particle濾除(> ...